照度异常上限: 照度异常下限: 照度报警上限: 照度报警下限: UV Lamp: 有效 无效 Lamp种类: UV 可视光 图像处理: 有效 无效 自动运行前X-Ray Check: 有效 无效 X-Ray1寿命检测: 有效 无效 X-Ray2寿命检测: 有效 无效 X-Ray3寿命检测: 有效 无效 X-Ray4寿命检测: 有效 无效 X-Ray5寿命检测: 有效 无效 X-Ray6寿命检测: 有效 无效 X-Ray7寿命检测: 有效 无效 X-Ray8寿命检测: 有效 无效 负载传感器检查: 有效 无效 运行前Mask位置登记: 有效 无效 运行中Mask位置登记: 有效 无效 Mask位置登记Timing: 照度测定Unit: 有效 无效 自动运行设定: 常On 常Off 搬出时 基板搬出时Shutter操作: 搬出前 Stage下降时 Stage温度异常: 有效 无效 Stage温度警报上限: Stage温度异常上限: Stage温度控制下限: Stage温度控制上限: 静电检测Sensor异常: 有效 无效 除电Bar Error(上): 有效 无效 除电Bar Error(下): 有效 无效 除电Bar Error(下): 有效 无效