配置保存时间: 照度异常上限: 照度异常下限: 照度报警上限: 照度报警下限: UV Lamp: 有效 无效 Lamp种类: UV 可视光 图像处理: 有效 无效 自动运行前X-Ray Check: 有效 无效 X-Ray1寿命检测: 有效 无效 X-Ray2寿命检测: 有效 无效 X-Ray3寿命检测: 有效 无效 X-Ray4寿命检测: 有效 无效 X-Ray5寿命检测: 有效 无效 X-Ray6寿命检测: 有效 无效 X-Ray7寿命检测: 有效 无效 X-Ray8寿命检测: 有效 无效 负载传感器检查: 有效 无效 运行前Mask位置登记: 有效 无效 运行中Mask位置登记: 有效 无效 Mask位置登记Timing: 照度测定Unit: 有效 无效 自动运行设定: 通常 PASS 自动运行除电Bar: 常On 常Off 搬出时 基板搬出时Shutter操作: 搬出前 Stage下降时 Stage温度异常: 有效 无效 Stage温度警报上限: Stage温度异常上限: Stage温度控制下限: Stage温度控制上限: 静电检测Sensor异常: 有效 无效 除电Bar Error（上）: 有效 无效 除电Bar Error（下）: 有效 无效 StageZ允许偏差值: StageZ允许电流差值异常: StageZ允许偏差值报警: StageZ允许偏差值异常检测时间: Camera1-X Alignment位置: Camera1-Y Alignment位置: Camera1-Z Alignment位置: Camera2-X Alignment位置: Camera2-Y Alignment位置: Camera2-Z Alignment位置: Mask装/卸上升量: Mask装/卸上升次数: Mask装/卸上升速度: Mask装/卸上升待机时间: Mask装/卸下降量: Mask装/卸下降次数: Mask装/卸下降速度: Mask装/卸下降待机时间: Mask吸着位置移动速度: Mask Load Over报警次数: 最大照射时间: UV Lamp1照度校正系数: UV Lamp2照度校正系数: UV Lamp3照度校正系数: UV Lamp4照度校正系数: UV Lamp5照度校正系数: UV Lamp6照度校正系数: UV Lamp7照度校正系数: UV Lamp8照度校正系数: UV Lamp9照度校正系数: UV Lamp10照度校正系数: UV Lamp11照度校正系数: UV Lamp12照度校正系数: UV Lamp13照度校正系数: UV Lamp14照度校正系数: 可视光 Lamp1照度校正系数: 可视光 Lamp2照度校正系数: 可视光 Lamp3照度校正系数: 可视光 Lamp4照度校正系数: 可视光 Lamp5照度校正系数: 可视光 Lamp6照度校正系数: 可视光 Lamp7照度校正系数: 可视光 Lamp8照度校正系数: 可视光 Lamp9照度校正系数: 可视光 Lamp10照度校正系数: 可视光 Lamp11照度校正系数: 可视光 Lamp12照度校正系数: 可视光 Lamp13照度校正系数: 可视光 Lamp14照度校正系数: UV Lamp1照度设定值: UV Lamp2照度设定值: UV Lamp3照度设定值: UV Lamp4照度设定值: UV Lamp5照度设定值: UV Lamp6照度设定值: UV Lamp7照度设定值: UV Lamp8照度设定值: UV Lamp9照度设定值: UV Lamp10照度设定值: UV Lamp11照度设定值: UV Lamp12照度设定值: UV Lamp13照度设定值: UV Lamp14照度设定值: 可视光 Lamp1照度设定值: 可视光 Lamp2照度设定值: 可视光 Lamp3照度设定值: 可视光 Lamp4照度设定值: 可视光 Lamp5照度设定值: 可视光 Lamp6照度设定值: 可视光 Lamp7照度设定值: 可视光 Lamp8照度设定值: 可视光 Lamp9照度设定值: 可视光 Lamp10照度设定值: 可视光 Lamp11照度设定值: 可视光 Lamp12照度设定值: 可视光 Lamp13照度设定值: 可视光 Lamp14照度设定值: Work Thickness Max: Work Thickness Min: Mask预热: 有效 无效 Mask装/卸高速速度: 照度调整/测定速度: Lamp使用时间上限: 漏水Sensor1 Check: 有效 无效 漏水Sensor2 Check: 有效 无效 漏水Sensor3 Check: 有效 无效 漏水Sensor4 Check: 有效 无效 漏水Sensor5 Check: 有效 无效 漏水Sensor6 Check: 有效 无效 漏水Sensor7 Check: 有效 无效 漏水Sensor8 Check: 有效 无效 漏水Sensor9 Check: 有效 无效 漏水Sensor10 Check: 有效 无效 漏水Sensor11 Check: 有效 无效 漏水Sensor12 Check: 有效 无效 漏水Sensor13 Check: 有效 无效 漏水Sensor14 Check: 有效 无效 漏水Sensor15 Check: 有效 无效 MaintPassword: